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產品詳情
  • 產品名稱:磊晶片測量

  • 產品型號:Talysurf
  • 產品廠商:英國TAYLOR HOBSON
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簡單介紹:
對于客戶和供應商而言,表面紋理是確定外延半導體質量的極其重要的參數
詳情介紹:

磊晶片測量

由于光電組件在電訊和顯示技術領域的的用途不斷擴展,外延技術成為組件生產的關鍵技術。外延是指在單晶基片表面上沉積非常薄的半導體物質層的過程。每個晶體層稱為外延層。

計量

表面粗糙度
對于客戶和供應商而言,表面紋理是確定外延半導體質量的極其重要的參數。對于目前的驅動器而言,因為要在硅片上印刷的電路越來越小,所以粗糙度容差范圍變得更窄。磊晶片的表面粗糙度規定為納米級,所以這需要使用噪音非常低且分辨率高的系統來測量磊晶片。

 

 

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